用仿生技术助力半导体产业升级
近日，河海大学苏州研究院仿生机器人技术团队与企业紧密合作，研发“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制造领域实现重要应用，突破了我国半导体设备制造的“卡脖子”问题，为我国集成电路产业链自主创新能力提升提供核心支撑。
仿生技术助力
河海大学联合团队 用仿生技术助力半导体产业升级
近日，河海大学苏州研究院仿生机器人技术团队与企业紧密合作，研发“真空环境超洁净晶圆传送机械臂”，并在半导体制造领域实现重要应用，突破了我国半导体设备制造的“卡脖子”问题，为我国集成电路产业链自主创新能力提升提供核心支撑。